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产品介绍
MX61/MX61L
产品特点:
半导体检查显微镜200mm/300mm晶圆FPD检查显微镜
• 大型载物台搭载: 可用于400×300mm液晶基板, 300mm晶圆全面检查(MX61L)
• 采用高NA的透射光聚光镜, 图像更锐利
• 多种观察方式 多种照明方式 多种附件以满足不同应用要求
• 透射和反射照明可同时使用, 极大提高液晶基板观察效果
MX61/MX61L详细规格:
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型号 |
MX61型显微镜 |
MX61L型显微镜 |
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光学系统 |
UIS2光学系统（无限远校正光学系统） |
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显微镜镜体 |
射光照明（F.N. 26.5） |
12V100W卤素灯泡（预定心型） 明视场/暗视场反射镜可外加1个分光镜组（选配） ，转换使用 内置电动孔径光阑（每个物镜可预设，物镜转换时自动转换，暗视场观测时自动打开） |
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透射光照明*(F.N. 26.5) |
进行透射光照明时要配合使用MX-TILLA或MX-TILLB。 采用LG-PS2型光源和LG-SF型光源附件（12V100W卤素灯）或同等光源进行照射。 MX-TILLA：聚光镜（N.A. 0.5），带孔径光阑 MX-TILLB：聚光镜（N.A. 0.6），带孔径和视场光阑 |
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观测方法 |
①反射光明视场法；②反射光暗视场法；③反射光诺曼尔斯基微分干涉衬比法；④反射光简单偏振法；⑤反射光萤光法；⑥反射光照明法（IR）⑦透射光明视场法；⑧透射光简单偏振法③/④/⑤需要专门的分光镜组。⑦/⑧需要与透射光照明部件配合使用。 |
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观察镜筒 |
超宽场正像倾斜式三目镜筒（F.N. 26.5） ：MX-SWETTR型 其它：超宽场三目镜筒/宽场双目镜筒 |
超宽场正像倾斜式三目镜筒（F.N. 26.5） ：MX-SWETTR型或U-SWETTR型（MX-SWETTR是MX61L的标准配置） |
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换镜转盘 |
电动六孔换镜转盘，配备滑槽，用于微分干涉衬比法观测：U-D6REMC型 电动五孔明/暗视野法用转盘，配备滑槽用于微分干涉衬比法观测：U-D5BDREMC型 电动五孔定心换镜转盘，配备滑槽，用于微分干涉衬比法观测：U-P5REMC型 通过显微镜前面板上的物镜转换按钮或直接通过U-HSTR2（用户指定）控制转换 |
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载物台 |
MX-SIC8R 8英寸×8英寸 行程：210×210mm（透射光照明面积：189 x 189 mm） MX-SIC6A 6英寸×6英寸 行程：158×158mm（只能使用反射光） |
MX-SIC1412R2 14英寸×12英寸 行程：356×305mm （透射光照明面积：356×284mm） 与MX-TILLB配合使用 |
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滚柱导块结构，带式驱动系统（无齿条） ，离合功能（带式驱动脱离系统） |
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能耗 |
内置反射光源：100-120/220-240V~1.9/0.9 50/60Hz 透射光源（LG-PS2） ：100-120/220-240V~3.0/1.8A 50/60 Hz |
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体积/重量 |
体积：约509（宽）×843（长）×507（高）mm 重量：约40kg（载物台约重27kg） |
体积：约710（宽）×843（长）×507（高）mm 重量：约51kg（载物台约重31kg） |