MF176系列 — 测量显微镜

MF 测量显微镜具有可扩展性，如与三丰  * 快速释放系统，特别适用于长行程测量。
Vision Unit 一起使用可提高其性能，或者可 * 微调／粗调立柱两侧的加紧装置，进行
在 PC 中进行资料管理，从而确保提高效率。 聚焦和测量。
* 调零开关 (X 轴和 Y 轴) 也位于操作台手柄
技术参数
特点 的附近。
观察图像:  正像
亮视场观察、清晰的无闪烁的正像、以 可将 升级为视像测量系统。
*  *  Vision Unit  光管 (选件):  单目目镜或双目目镜
(俯角：25o)、十字投影法、
及宽阔的视场范围。
带有TV 插板、光通比
* 长工作距离目镜，倍率可达100X (总倍率：
(目镜/TV 插板：50/50)
目镜(选件):   10X, 15X, 20X
2000X)。
物镜:  3X (375-037), W.D.: 72.5mm
* 透射照明孔径光阑和反射照明系统为标
可选：1X, 5X 10X, 20X, 50X, 100X
轮廓照明
准性能配置。

* 光源:   卤素灯泡(12V, 50W)
*光学系统:  带有可调整光圈的远心照明系统
*功能:  光强度可调、  无级亮度调整
表面照明

*光源:   卤素灯泡(12V, 100W 或 12V, 150W)
* 光学系统:  带有可调整光圈的科勒照明系统
*功能:  光强度可调、  无级亮度调整
显示装置
* 轴数:   2 轴 (MF-A 型) 或 3 轴 (MF-B 型)
*解析度:  0.001mm / 0.0005mm / 0.0001mm/
.0001" / .00005" / .00001"

* 功能:  调零、方向转换、
资料输出(通过 RS-232C 介面)
电源:  100/110/120/220/240V AC, 50/60Hz
重量    65.5kg (505B, 1010B),
69.5kg (2010B),69.5kg (2010B),
130kg (2017B),
138kg (3017B),
144kg (4020B)

性能参数
型号(XY 工作台尺寸) 505B      1010B      2010B      2017B       3017B      4020B
货号 MF-A           176-561* 176-562* 176-563* 176-564* 176-565* 176-566*
MF-B          176-581*  176-582* 176-583* 176-584* 176-585* 176-586*
XY 工作台移动范围50 x 50mm 100 x 100mm 200 x 100mm 200 x 170mm 300 x 170mm 400 x 200mm
Z 轴移动范围          150mm       150mm    150mm     220mm     220mm     220mm
调焦方式手动调焦(粗调焦：10mm/rev、微调焦：0.1mm/rev)
测量方法线性编码器(2 轴型：X / Y 轴、3 轴型：X / Y / Z 轴)
解析度(可转换) 0.001mm / 0.0005mm / 0.0001mm / .0001" / .00005" / .00001"
测量精度(20oC 时) XY 轴：(2.5+0.02L)μm, L 为无负载测量长度(mm), JIS B 7153
指示精度(20oC 时) Z 轴：(5+0.04L)μm, L 为测量长度(mm)
浮动功能带有快速断开功能的X 和Y 轴
XY 工作台台面尺寸280 x 280mm 280 x 280mm 350 x 280mm 410 x 342mm 510 x 342mm 610 x 342mm
载物玻璃有效尺寸180 x 180mm 180 x 180mm 250 x 150mm 270 x 240mm 370 x 240mm 440 x 240mm
旋转功能— — — ±5o (左) ±5o (左) ±3o (左)
最大工件重量10kg 10kg 10kg 20kg 20kg 15kg
最大工件高度150mm 150mm 150mm 220mm 220mm 220mm
* 为区分交流电源电压，在货号后加上以下尾码(如：176-561A):
A 适于UL/CSA, D 适于CEE, E 适于BS, DC 适于中国、K 适于EK，无尾码适于JIS/100V