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8500场发射扫描电子显微镜通过微型化静电聚焦镜的设计，有效避免传统电磁聚焦镜在成像过程中的滞后现象。不同于传统电镜在更换电子源后必需的复杂标定过程，是德科技8500系统通过现场更换ECD Cartridge,用户可得到一个全新的电子源、并配有高精度的电子束发射腔以及全新的检测器，相当于再次拥有了一台全新的 8500FE-SEM。特点和优势场发射高分辨扫描电子显微镜，结构优化，核心元件达到晶元尺度。在保持高端扫描电子显微镜性能的同时，大大减少对试验条件和配套设备的要求，并极大降低了后续场发射扫描电子显微镜的使用成本和维护成本创新的静电聚焦镜设计，无需调校，重复性好。创造性的ECD cartridge (集电子源、电子束发射腔，和检测器于一体）设计，终生无需标定。在低压条件下，稳定得到高分辨的成像结果，针对能量敏感型或易电子损伤样品，能避免高压电子束对样品造成的熔融现象。成像电压连续可调，样品台XYZ三轴自由调控。在保证高性能的同时，大大降低试验安装要求，以及使用成本。不用液氮，电源即插即用。制样筒单，样品无需喷金喷碳，完整保留样品的真实形貌特征，适用于各种导电/非导电样品。