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详细介绍
结构紧凑的EDS由显微镜主体系统的电脑控制，操作员只用一只滑鼠，就可完成从图像观测到元素分析的整个过程。 操作窗口 直观的操作介面的设计，简明易懂便于迅速掌握操作。
支持多用户 单个用户可以根据常用功能设置相应的图示，营造快捷的操作环境。用户登录时，即可加载已注册过的设定。
同时显示两幅图像 画面上并列显示二次电子成像和背散射电子成像这两种即时图像。
可同时观察样品的形貌和组成分布。
微细结构测量 适合于多种测量功能。
可在观察图像上直接进行测量。
也可将测量结果贴至SEM图像，保存在档中。
标准的全对中样品台，能收录三维照片 3D Sight（选配件），能够进行平面测量和高度测量，实现立体俯视图。
从图像观察到元素分析，配合连贯一条龙 分析型扫描电子显微镜配备两台监视器，一台用于SEM图像观察和另一台用于元素分析（EDS）。
一只通用滑鼠即可同时控制两台监视器。
大尺寸画面使操作更加简便与舒适。 维护简便 工厂预置中心灯丝，十分便于更换。
因此，可长期保持稳定的高性能。
此外，操作介面还能以映像形式显示灯丝维护的步骤说明。
可信赖的真空系统 真空系统使用高性能的扩散泵保证了洁净的高真空状态。
扩散泵内部无活动部件，体现了操作稳定，维护简便的特色。
JSM-6510规格
保证解析度 3.0nm（30kV） 8.0nm（3kV） 15nm（1kV）
放大倍数 5至300,000x
加速电压 0.5kV至30kV
电子枪
工厂预对中灯丝 聚光镜 变焦聚光镜 物镜 锥形物镜 样品台
全对中样品台 X-Y 80mm-40mm Z 5mm至48mm
旋转 360°
倾斜 －10°至＋90°
排气系统 （高真空模式） DPx1，RPx1
排气系统 （低真空模式） DPx1，RPx2