CyberOptics公司（NASDAQ：CYBE）是高精度3D传感技术解决方案的全球领先的开发制造商，其装备Multi-Reflection Suppression™(MRS™)传感器的WX3000™计量与检测系统。

       集成到CyberOptics WX3000系统中的纳米分辨率MRS传感器可以提供亚微米的精度，小到25 μm。在保留其拒绝杂散多重反射能力的同时，它还增加了捕获和分析锡球、凸点和焊柱闪亮表面的镜面反射能力，使得可以对这些关键封装特征进行高精度检测和3D计量。完成100%的3D/2D检测和凸点计量，比其他技术快2～3倍，可提供每小时超过25片晶圆（300 mm）的生产能力。  

 

       CyberOptics总裁兼首席执行官Subodh Kulkarni博士表示：“随着晶圆级和先进封装对高分辨率、高精度、100%检测和计量需求的不断增加，WX3000系统不仅满足了这些技术要求，而且还具有其他技术无法比拟的速度。”  

       该公司还将对高精度传感器进行数字演示，这些传感器被工艺和设备工程师用于制造前端，以加速设备鉴定，缩短设备维护周期，降低设备费用，并优化预防性维护计划。WaferSense® Auto Resistance Sensor™(ARS，自动电阻传感器)支持实时测量半导体电化学沉积（ECD）应用中电镀槽接触电阻，In-Line Particle Sensor™(IPS，在线粒子传感器)24/7地检测和监控，发现并排除任何制造区域内气体和真空中0.1 μm以下的微粒。  

 

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